集成電路用超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程

集成電路超純水設(shè)備系統(tǒng)采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法，電阻率方可達(dá)18.25MΩ*cm

1、采用離子交換方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精mi過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

2、采用兩級反滲透方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精mi過濾器→di一級反滲透 →PH調(diào)節(jié)→中間水箱→第二級反滲透（反滲透膜表面帶正電荷）→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

3、采用EDI方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精mi過濾器→一級反滲透機(jī)→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點

濱潤環(huán)�？萍加邢薰咀詣�(chuàng)建以來，主要從事制藥，生物，保健品，化妝品，工業(yè)，化工，醫(yī)院等純水，純化水，超純水，注射用水、中水回用、污水處理的成套設(shè)備，能提供從原水開始到合格純水，純化水，超純水，注射用水（包括用水點）污水達(dá)標(biāo)排放的全套工藝設(shè)計、設(shè)備制造、安裝、調(diào)試及DQ、IQ、OQ文件資料等“交鑰匙”工程。公用工程（純蒸汽、潔凈壓縮空氣、氮氣）和工藝生產(chǎn)設(shè)備（CIP、SIP、自動化系統(tǒng)）的設(shè)計、施工和驗證服務(wù)于一體的專業(yè)工程設(shè)備公司�！皩I(yè)精湛、優(yōu)質(zhì)服務(wù)”是公司永恒的宗旨，堅持“科技領(lǐng)先，優(yōu)質(zhì)高效，客戶至上，尊信守約”的理念以及質(zhì)量方針，為我們的客戶提供‘零缺陷’的產(chǎn)品和周到的服務(wù)是濱潤環(huán)保每位員工始終不渝的奮斗目標(biāo)。我們所有的產(chǎn)品都有嚴(yán)格的質(zhì)量控制流程，在整機(jī)執(zhí)行元件的選配上也都采用國際知名品牌，如：美國GF、美國GE、杭州南方、丹麥格蘭富、意大利FOUCS、西門子IONPURE、美國DOW、韓國LG等，確保整機(jī)長期無故障運行。公司以其可靠的質(zhì)量、完善的服務(wù)、精湛的技術(shù)，為國內(nèi)外合作伙伴提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品以及貼心的服務(wù)。我們真誠希望以滿腔的熱情，周到的服務(wù)與各界朋友共謀發(fā)展、再續(xù)輝煌。

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