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氧化鋯靶材,噴涂氧化鋯管靶,旋轉(zhuǎn)氧化鋯靶
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1
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供應(yīng)標(biāo)題:氧化鋯靶材,噴涂氧化鋯管靶,旋轉(zhuǎn)氧化鋯靶
價(jià)格:電儀
發(fā)布公司:廣州市尤特新材料有限公司
供貨總量:9999
聯(lián)系人:楊永添
發(fā)貨地點(diǎn):廣東 廣州 花都區(qū)
發(fā)布時(shí)間:2024年07月23日
有效期至:2025年01月23日
在線(xiàn)詢(xún)盤(pán):在線(xiàn)詢(xún)盤(pán)
產(chǎn)品綜合信息質(zhì)量:未計(jì)算
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基本信息
在大規(guī)模集成電路制作工藝過(guò)程中,每150mm直徑硅片所能允許的微粒數(shù)必須小于30個(gè)。怎樣控制濺射靶材的晶粒,并提高其致密度以解決濺射過(guò)程中的微粒飛濺問(wèn)題是濺射靶材的研發(fā)的關(guān)鍵。靶材濺射時(shí),靶材中的原子容易沿著密排面方向優(yōu)先濺射出來(lái),材料的結(jié)晶方向?qū)R射速率和濺射膜層的厚度均勻性影響較大,終影響下游產(chǎn)品的品質(zhì)和性能。需根據(jù)靶材的結(jié)構(gòu)特點(diǎn),采用不同的成型方法,進(jìn)行反復(fù)的塑性變形、熱處理工藝加以控制。銦是中國(guó)在儲(chǔ)量上占據(jù)優(yōu)勢(shì)的資源。ITO靶材,制造的原料In是我國(guó)擁有的關(guān)鍵稀土銦,但由于不會(huì)加工,等日采購(gòu)。顯示面板的上游更是日本企業(yè)壟斷。噴涂設(shè)備。
而在1950年,第二種透明半導(dǎo)體氧化物In2O3被制成,特別是在In2O3里摻入錫以后,使這種材料在透明導(dǎo)電薄膜方面得到了普遍的應(yīng)用,并具有廣闊的應(yīng)用前景。目前制備ITO薄膜的方法有很多種,如低電壓濺射、直流磁控濺射和HDAP法。將ITO玻璃進(jìn)行加工處理、經(jīng)過(guò)鍍膜形成電極。從設(shè)備所占市場(chǎng)份額看,AMAT的產(chǎn)品覆蓋了整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈,眾多產(chǎn)品市場(chǎng)占有率處于較高水平。包括PVD沉積設(shè)備(84.9%),P設(shè)備(66%)。離子注入設(shè)備(73%)領(lǐng)域處于較高水平。此外,泛林的刻蝕機(jī)市場(chǎng)占有率達(dá)到52.7%。膜時(shí)提高襯底溫度以薄膜晶粒尺寸,優(yōu)化薄膜結(jié)晶性能。隨著芯片的使用范圍越來(lái)越廣泛,芯片市場(chǎng)需求數(shù)量增長(zhǎng)。
特別是高純度濺射靶材應(yīng)用于電子元器件制造的物相沉積(PVD)工藝是制備晶圓、面板、太陽(yáng)能電池等表面電子薄膜的關(guān)鍵材料。真空狀態(tài)下,用加速的離子轟擊固體表面,離子和固體表面原子交換動(dòng)量使固體表面的原子離開(kāi)固體并沉積在基底表面形成所需要的薄膜這一過(guò)程稱(chēng)為濺射。被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的源材料。通常稱(chēng)為靶材。靶材產(chǎn)業(yè)鏈:濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈主要包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應(yīng)用等環(huán)節(jié)。其中,靶材制造和濺射鍍膜位于中游,是整個(gè)濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)Π胁囊蟾摺STS(半導(dǎo)體貿(mào)易統(tǒng)計(jì))數(shù)據(jù)顯示,濺射靶材主要應(yīng)用在平板顯示、記錄媒體、光伏電池、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。其中,在濺射靶材應(yīng)用領(lǐng)域中,半導(dǎo)體芯片對(duì)濺射靶材的金屬材料純度、內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)等方面都設(shè)定了極其苛刻的標(biāo)準(zhǔn)。鍍膜靶材。
半導(dǎo)體芯片行業(yè)是金屬濺射靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域之一,也是對(duì)靶材的成分和性能要求高的領(lǐng)域。具體來(lái)講,半導(dǎo)體芯片的制作過(guò)程可分為硅片制造、晶圓制造和芯片封裝等三大環(huán)節(jié),其中,在晶圓制造和芯片封裝這兩個(gè)環(huán)節(jié)中都需要用到金屬濺射靶材。靶材是半導(dǎo)體、顯示面板等的關(guān)鍵核心材料,國(guó)內(nèi)總需求占比超30%,但可自主生產(chǎn)的市場(chǎng)規(guī)模不足2%。伴隨制造業(yè)向國(guó)內(nèi)轉(zhuǎn)移趨勢(shì),國(guó)產(chǎn)替代空間明顯。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的迅猛發(fā)展,集成化程度越來(lái)越高,單位面積單晶硅片集成器件數(shù)呈指數(shù)級(jí)增長(zhǎng),主流的硅片尺寸已從12英寸(300mm)逐漸邁向18英寸(450mm)或者更高,國(guó)內(nèi)ITO導(dǎo)電膜產(chǎn)業(yè),日本企業(yè)進(jìn)入該產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域較早,不僅具有上游原料優(yōu)勢(shì)。
太陽(yáng)能電池主要包括晶體硅太陽(yáng)能電池和薄膜太陽(yáng)能電池, PVD 工藝主要應(yīng)用于薄膜太陽(yáng)能電池中。晶體硅太陽(yáng)能電池效率較高、性能穩(wěn)定,且各個(gè)產(chǎn)業(yè)環(huán)節(jié)比較成熟,占據(jù)了太陽(yáng)能電池市場(chǎng)的地位。與晶體硅太陽(yáng)能電池相比,薄膜太陽(yáng)能電池材料用量大大減少,從而大幅降低了制造成本和產(chǎn)品價(jià)格,同時(shí),薄膜太陽(yáng)能電池還具有制造溫度低、應(yīng)用范圍大等特點(diǎn)。21 世紀(jì)以來(lái),光伏產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展。近年來(lái),隨著國(guó)家對(duì)環(huán)境保護(hù)、節(jié)能減排方面的重視,我國(guó)太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)在太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的帶動(dòng)下飛速發(fā)展。太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展也給太陽(yáng)能電池用濺射靶材市場(chǎng)帶來(lái)了巨大的成長(zhǎng)空間, 2015 年太陽(yáng)能電池用濺射靶材市場(chǎng)規(guī)模達(dá) 18.5 億美元,比 2014 年增長(zhǎng) 21.7%。目前國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能電池主要以硅片涂覆型太陽(yáng)能電池為主,薄膜電池的產(chǎn)量較小,因此濺射靶材市場(chǎng)規(guī)模仍較小, 2015 年為 7.5 億元。太陽(yáng)能電池行業(yè)仍然處于產(chǎn)業(yè)上升階段,隨著國(guó)內(nèi)薄膜電池生產(chǎn)線(xiàn)的投產(chǎn),我國(guó)太陽(yáng)能電池用濺射靶材市場(chǎng)將持續(xù)增長(zhǎng)。
二氧化鉿靶,二硼化鈦靶,二硼化鋯靶,五氧化二鉭,五氧化二鈮靶、氟化鎂靶、氟化釔靶、硒化鋅靶、氮化鋁靶,氮化硅靶,氮化硼靶,氮化鈦靶,碳化硅靶,鈮酸鋰靶、鈦酸鐠靶、鈦酸鋇靶、鈦酸鑭靶、氧化鎳靶、濺射靶材等。新建和改擴(kuò)建企業(yè)及項(xiàng)目產(chǎn)品的技術(shù)指標(biāo)要求則更高:多晶硅電池和單晶硅電池的光電轉(zhuǎn)換效率分別不低于20%和23%。有業(yè)內(nèi)人士提出,由以上數(shù)據(jù)可以發(fā)現(xiàn),2020年《規(guī)范》從本來(lái)應(yīng)是“及格線(xiàn)”的標(biāo)準(zhǔn)幾乎提高到了“滿(mǎn)分線(xiàn)”,也就是基本只有頭部企業(yè)才可以達(dá)到的要求,被用來(lái)約束全行業(yè),在擴(kuò)產(chǎn)方面,行業(yè)擴(kuò)產(chǎn)熱潮可能會(huì)被適當(dāng)冷卻。據(jù)了解,目前只有主流企業(yè)的電池轉(zhuǎn)換效率夠得上新版發(fā)布的標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)中國(guó)光伏行業(yè)協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示。
以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直徑靶材,氣動(dòng)、電動(dòng)的引弧等),真空測(cè)量可選擇數(shù)字式智能真空計(jì)及其優(yōu)質(zhì)的測(cè)量規(guī)管,及其它測(cè)量?jī)x器,如自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀等。膜厚測(cè)量可選用方塊電阻測(cè)量?jī)x,透過(guò)率計(jì)等。充氣方式可選用質(zhì)量流量計(jì)、浮子流量計(jì) 針閥及相應(yīng)的充氣閥門(mén),并可選擇多路充氣管路及相應(yīng)流量參數(shù)。根據(jù)需烘烤的結(jié)構(gòu)提出烘烤溫度、材質(zhì)以及所需配備相應(yīng)儀表測(cè)量。根據(jù)設(shè)備使用特點(diǎn)?蛇x擇手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)或其組合的控制方式。完善的報(bào)警系統(tǒng),對(duì)真空室體、擴(kuò)散泵斷相、缺水、氣壓、電源負(fù)載的過(guò)壓、過(guò)流等異常情況進(jìn)行聲光報(bào)警。
“2019年度中國(guó)濺射靶材品牌評(píng)選”是由品牌排行網(wǎng)主辦的范圍廣、規(guī)模大的品牌綜合實(shí)力排名評(píng)選活動(dòng)。經(jīng)過(guò)多審核精選出行業(yè)品質(zhì)出眾、人氣旺的品牌。尤特新材料(UVTM)是國(guó)家高新技術(shù)企業(yè),公司成立于二00三年,專(zhuān)業(yè)從事信息、鍍膜、太陽(yáng)能材料的科研與生產(chǎn)。公司從德國(guó)、日本、引進(jìn)先進(jìn)的生產(chǎn)、檢測(cè)設(shè)備和專(zhuān)業(yè)人才。
半導(dǎo)體材料可以分為晶圓材料和封裝材料,封裝材料相較于晶圓制造材料來(lái)說(shuō)技術(shù)壁壘相對(duì)較低,所以我們主要講的是晶圓制造材料。半導(dǎo)體材料市場(chǎng)占比在3%左右的濺射靶材。簡(jiǎn)單地說(shuō),靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料,通過(guò)更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)?萍既?qǐng)?bào):ITO靶材是35項(xiàng)卡脖子技術(shù)之一。2018年,尤特成立ITO靶材部,目前已量產(chǎn)達(dá)到國(guó)際水平的ITO靶材,打破國(guó)外對(duì)ITO靶材的壟斷,為客戶(hù)提供磁控濺射鍍膜行業(yè)全棧式服務(wù)。獲得很薄的金屬薄膜。而關(guān)于透明導(dǎo)電材料的研究進(jìn)入一個(gè)新的時(shí)期,則是在第二次世界大戰(zhàn)期間,主要應(yīng)用于飛機(jī)的除冰窗戶(hù)玻璃。
廣州市尤特新材料有限公司基本信息
公司網(wǎng)址:http://UVTMCOM.glass.com.cn
氧化鋯靶材,噴涂氧化鋯管靶,旋轉(zhuǎn)氧化鋯靶
產(chǎn)品屬性:
計(jì)量單位:套 供貨總量:9999 最小起訂量:1 產(chǎn)品單價(jià):6900.00 品牌: 規(guī)格型號(hào): 包裝說(shuō)明: