平面石墨靶,綁定石墨靶,石墨管靶

平面石墨靶，20 世紀(jì)90 年代以來靶材已蓬勃發(fā)展成為一個專業(yè)化產(chǎn)業(yè)，中國及亞太地區(qū)靶材的需求占有世界70%以上的市場份額。大量不同的沉積技術(shù)用來沉積生長各種薄膜 ，而靶材是制作薄膜的關(guān)鍵，品質(zhì)的好壞對薄膜的意義重大。目前高端品質(zhì)靶材主要由:日本、德國和美國生產(chǎn)，我國靶材產(chǎn)業(yè)起步較晚，在產(chǎn)品質(zhì)量與精細(xì)標(biāo)準(zhǔn)上與國外有不少的差距，國內(nèi)也有許多大學(xué)及研究機(jī)構(gòu)對靶材積極投入了大量鉆研與開發(fā)，經(jīng)過這幾年的發(fā)展也涌現(xiàn)了一批在靶材行業(yè)優(yōu)秀的公司和院校。在國內(nèi)占據(jù)了大部分中等和要求不高的靶材市場份額。

1 靶材應(yīng)用行業(yè)分類

1.1 裝飾、工模具鍍膜行業(yè)靶材鉻靶（Cr），平面鉻靶，噴涂鉻管；

鉻硅靶90/10Wt%,50/50at%,25/75at%(電弧，平面靶，旋轉(zhuǎn)管靶）；

鈦鋁靶50/50at%,70Ti/30at%,67AL/33at%（電弧，平面靶，旋轉(zhuǎn)管靶）；

鈦鋁硅靶1:1:1at%,1:2:1at%(電弧，平面靶，旋轉(zhuǎn)管靶）；

鈦靶，鈦管靶，鋯靶；

金靶，玫瑰金靶；

石墨靶，鎳靶，鋁靶，不銹鋼靶等。

1.2 太陽能光伏光熱行業(yè)靶材

氧化鋅鋁靶ZAO； 硅靶；鈦靶、氧化鈦靶；鋁靶；鉻靶、鎳鉻；鋅鋁、鎢、鉬

靶等。

1.3 建筑汽車玻璃大面積鍍膜

硅鋁靶、旋轉(zhuǎn)硅鋁靶；氧化鈦靶；錫靶；鉻靶；硅靶；鈦靶、不銹鋼靶。

1.4 平面顯示行業(yè)

ITO 靶；二氧化硅靶；高純硅靶5-7N；高純鉻靶3N5；TFT 鉬靶；鉬鈮靶；鎢鈦

靶90/10wt%；高純鋁靶等。

1.5 光學(xué)，光通信，光存儲行業(yè)

銀靶；鉭靶；硫化鋅靶；高純鋁靶；硅靶。

2 常用靶形

常用靶形有電弧靶、平面靶、旋轉(zhuǎn)管靶。

2.1 平面靶材利用率提高方式

（1）改變磁鐵運動方向

（2）改變磁力線分布寬度和高度

2.2 靶材性能與要求

靶材質(zhì)量直接影響著薄膜的物理、外觀、力學(xué)等性能，因而對靶材質(zhì)量的評判較為嚴(yán)格，主

要應(yīng)滿足以下要求：雜質(zhì)及氧含量低、純度高；致密度高；成分與組織結(jié)構(gòu)均勻；晶粒尺寸細(xì)小。

2.3 劣質(zhì)靶材缺陷

a)和b)為熔煉鉻靶燒蝕后靶面情況

c)靶面有凹痕為引弧針安裝不當(dāng)導(dǎo)致的

d)水晶鍍膜靶材密度不夠，燒蝕后區(qū)別

e)等離子噴涂氧化鈦旋轉(zhuǎn)管靶不良

平面石墨靶,綁定石墨靶,石墨管靶

地區(qū)：廣東 廣州 花都區(qū)
網(wǎng)址: http://UVTMCOM.glass.com.cn

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